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MEMS传感器及应用
点击数: 1358     发布日期:2018-06-27

报告题目: MEMS传感器及应用

报告人姓名:方东明

报告人简介:

方东明,博士,中国科学院电子学研究所副研究员。IEEE Member,中国电子学会高级会员,中国微米纳米技术协会高级会员。主要从事研究微纳机械加工工艺、微纳传感器与系统(如RF MEMS 器件、微型能量采集器、微型电场传感器、MEMS 压力传感器、惯性传感器等)、MEMS 封装和测试。主持或共同主持国家重点实验室基金2 项、博士后特别资助基金1 项、国家自然科学基金1 项,GF 预研1 项,作为主要成员参与973863、国家自然科学基金(重大、重点、仪器专项)、中科院专项、国家重大项目等项目10 余项。授权国家发明专利4 项,申请1 项美国发明专利,申请国家发明专利16 项,参与制定国军标1 项。研究成果在MEMS 和微电子领域内顶级期刊(IEEE TEDJMM)及顶级会议(TransducersMEMS 等)上发表学术论文10 余篇,在SCI EI 检索期刊上发表论文40余篇。

报告时间:2018627日星期三下午1530

报告地点: 材料学院大会议室

举办部门: 材料学院

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